发明名称 MANUFACTURE OF MOS TRANSISTOR
摘要
申请公布号 JPH0521457(A) 申请公布日期 1993.01.29
申请号 JP19910199780 申请日期 1991.07.16
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 BABA TOSHISUKE
分类号 H01L21/265;H01L21/336;H01L29/78 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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