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发明名称 SPUTTERING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0521347(A) 申请公布日期 1993.01.29
申请号 JP19910171200 申请日期 1991.07.11
申请人 CANON INC 发明人 KOBAYASHI MASAYA
分类号 C23C14/34;C23C14/54;H01L21/203 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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