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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE MANUFACTURING METHOD
摘要
申请公布号 JPH0521331(A) 申请公布日期 1993.01.29
申请号 JP19910199990 申请日期 1991.07.15
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 MISAWA HIROTO;TSUJI HITOSHI
分类号 G03F7/20;H01L21/027;H01L27/12 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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