发明名称 GROWING METHOD FOR COMPOUND SEMICONDUCTOR CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPH0521346(A) 申请公布日期 1993.01.29
申请号 JP19910170804 申请日期 1991.07.11
申请人 NEC CORP 发明人 NEGISHI HITOSHI
分类号 C30B23/08;C30B29/42;H01L21/203;H01L21/338;H01L29/778;H01L29/812 主分类号 C30B23/08
代理机构 代理人
主权项
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