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发明名称
GROWING METHOD FOR COMPOUND SEMICONDUCTOR CRYSTAL
摘要
申请公布号
JPH0521346(A)
申请公布日期
1993.01.29
申请号
JP19910170804
申请日期
1991.07.11
申请人
NEC CORP
发明人
NEGISHI HITOSHI
分类号
C30B23/08;C30B29/42;H01L21/203;H01L21/338;H01L29/778;H01L29/812
主分类号
C30B23/08
代理机构
代理人
主权项
地址
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