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发明名称 PLASMA PROCESSOR
摘要
申请公布号 JPH0521393(A) 申请公布日期 1993.01.29
申请号 JP19910196097 申请日期 1991.07.11
申请人 SONY CORP 发明人 SAMEJIMA TOSHIYUKI;HARA MASATERU;SANO NAOKI;USUI SETSUO
分类号 C23C16/50;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/509;H01J37/32;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
主权项
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