摘要 |
<P>L'invention concerne un modulateur spatial de lumière au silicium. <BR/> Il comporte une contre-plaque (11) en silicium portant une couche isolante (12) et une grille de séparation en matière isolante'déposée sur la contre-plaque afin de définir un réseau de cellules. Une électrode (17) est déposée dans chaque cellule sur la contre-plaque. Une mince membrane (18) en silicium dopé est montée sur la grille d'écartement et au-dessus du réseau de cellules et d'électrodes. Des miroirs (20) sont appliqués sur la membrane pour former un réseau de pixels réfléchissants sur le réseau de cellules. <BR/> Domaine d'application: corrélateurs, réseaux optiques neuraux, etc.</P>
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