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发明名称
摘要
申请公布号 DE9112179(U1) 申请公布日期 1993.01.28
申请号 DE19910012179U 申请日期 1991.09.30
申请人 SIEMENS AG, 8000 MUENCHEN, DE 发明人
分类号 B01J4/00;H01L21/00 主分类号 B01J4/00
代理机构 代理人
主权项
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