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发明名称 HERSTELLUNGSVERFAHREN EINER INTEGRIERTEN SCHALTUNG.
摘要
申请公布号 DE3780387(T2) 申请公布日期 1993.01.28
申请号 DE19873780387T 申请日期 1987.09.18
申请人 JAPAN SYNTHETIC RUBBER CO., LTD., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 OKUDA, CHOZO;OKA, HIROSHI;MIURA, TAKAO, YOKKAICHI-SHI, JP
分类号 H01L21/302;H01L21/312;(IPC1-7):H01L21/312;H01L21/306;H05K3/28 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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