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发明名称
摘要
申请公布号	JPH056641(B2)	申请公布日期	1993.01.27
申请号	JP19840187750	申请日期	1984.09.07
申请人	ANELVA CORP	发明人	FUKUSHIMA SHIRO
分类号	G01B7/06;G01B7/00	主分类号	G01B7/06
代理机构		代理人
主权项
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