| 摘要 |
<p>Der beschriebene Relativdrucksensor besteht aus einer Trägerplatte 31, an welcher beidseitig einerseits zur Bildung einer Meßkammer 30 und andererseits zur Bildung einer Referenzdruckkammer 40 elastisch verformbare Membranen 32 und 42 angebracht sind. Die Membranen sind im Randbereich über dichtende Abstandsringe 33 und 43 mit der Trägerplatte 31 gasdicht verbunden. Die Kammern 30 und 40 sind miteinander über eine Bohrung 34 der Trägerplatte 31 verbunden. Über eine verschließbare Querbohrung 35 lassen sich die Kammern evakuieren und mit einem neutralen Gas füllen. Auf die Membran 32 wirkt der Prozeßdruck Pp eines zu überwachenden Mediums, auf die Membran 42 ein bekannter Referenzdruck PRef. Die Membranen 32 und 42 sind mit Wandlern verbunden, welche die mechanische Auslenkung in elektrische Signale verwandeln. Diese elektrischen Signale werden einer elektrischen Schaltung 45 zugeführt, welche ein dem Relativdruck, also der Differenz zwischen Prozeß- und Referenzdruck, proportionales Ausgangssignal erzeugt.</p> |
