发明名称
摘要
申请公布号 JPH056876(B2) 申请公布日期 1993.01.27
申请号 JP19850222832 申请日期 1985.10.08
申请人 ULVAC CORP 发明人 YANAGIDA HIROSHI
分类号 G01T1/20;H01J37/244 主分类号 G01T1/20
代理机构 代理人
主权项
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