On obtient une résolution et une sensibilité excellentes dans la configuration de réserves utilisées dans la fabrication de dispositifs et de masques, à l'aide d'une composition spécifique. Cette composition met notamment en oeuvre des polymères présentant des fractions d'esters alpha-alkoxyalkyle d'acide carboxylique et/ou d'éther hydroxyaromatique labiles d'acides pendants récurrents, en présence d'une substance constituant un générateur d'acide lors d'une exposition à un rayonnement actinique.
