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发明名称 PROCESS FOR PREPARING LAYERED THIN FILMS
摘要
申请公布号 EP0506582(A3) 申请公布日期 1993.01.27
申请号 EP19920400880 申请日期 1992.03.30
申请人 SUMITOMO ELECTRIC INDUSTRIES, LTD. 发明人 TANAKA, SO;NAKAMURA, TAKAO;IIYAMA, MICHITOMO
分类号 H01L39/24;(IPC1-7):H01L39/24 主分类号 H01L39/24
代理机构 代理人
主权项
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