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发明名称 SURFACE INSPECTION APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH0518727(A) 申请公布日期 1993.01.26
申请号 JP19910198503 申请日期 1991.07.12
申请人 RICOH CO LTD 发明人 WATANABE TAKAHIRO
分类号 G01B11/30;G01N21/88;G01N21/952 主分类号 G01B11/30
代理机构 代理人
主权项
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