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发明名称 PROCESS AND APPARATUS FOR PREPARING SUPERCONDUCTING THIN FILMS
摘要
申请公布号 US5182256(A) 申请公布日期 1993.01.26
申请号 US19910718883 申请日期 1991.06.21
申请人 SUMITOMO ELECTRIC INDUSTRIES, LTD. 发明人 ITOZAKI, HIDEO;HATTORI, HISAO;HARADA, KEIZO;HIGAKI, KENJIRO
分类号 H01L39/24 主分类号 H01L39/24
代理机构 代理人
主权项
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