| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR INSPECTING FOREIGN MATTER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0518889(A) |
申请公布日期 |
1993.01.26 |
| 申请号 |
JP19910202579 |
申请日期 |
1991.07.15 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
AKIYAMA MINORU;ECCHU MASAO;TANAKA HITOSHI;TOMOTA TOSHIMASA |
| 分类号 |
G01B11/30;G01N21/00;G01N21/21;G01N21/47;H01L21/66 |
主分类号 |
G01B11/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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