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发明名称 WAFER FABRICATING METHOD
摘要
申请公布号 KR930000597(B1) 申请公布日期 1993.01.25
申请号 KR19880015583 申请日期 1988.11.25
申请人 TOSHIBA CO., LTD. 发明人 MATSUSHITA, YOSHIAKI;MIYASHITA, MORIYA;WAKATSUKI, MAKIKO;TSUJIYA, NORIHIKO;KUBOTA, ATSUKO
分类号 H01L21/304;H01L21/306;H01L21/322;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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