发明名称 SEMICONDUCTOR MANUFACTURING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR930000601(B1) 申请公布日期 1993.01.25
申请号 KR19880013787 申请日期 1988.10.21
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP. 发明人 YAMAUCHI, SHUNSHI;MIETAHI, ROKI
分类号 H01L21/56;B29C45/14;B29C45/17;(IPC1-7):H01L21/02 主分类号 H01L21/56
代理机构 代理人
主权项
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