发明名称 HALOGEN GAS LASER CONTROL APPARATUS
摘要
申请公布号 KR930000552(B1) 申请公布日期 1993.01.25
申请号 KR19890013643 申请日期 1989.09.22
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP. 发明人 YOSHIOKA, TAKEO;MINAGAWA, TADAO
分类号 H01S3/097;H01S3/036;H01S3/134;H01S3/225;(IPC1-7):H01S3/097 主分类号 H01S3/097
代理机构 代理人
主权项
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