发明名称 IMPURITY DOPING METHOD
摘要
申请公布号 JPH0513351(A) 申请公布日期 1993.01.22
申请号 JP19910193508 申请日期 1991.07.08
申请人 NEC CORP 发明人 SONE SHUJI
分类号 H01L21/203;H01L21/22 主分类号 H01L21/203
代理机构 代理人
主权项
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