发明名称 METHOD FOR ION IMPLANTATION
摘要
申请公布号 JPH0513356(A) 申请公布日期 1993.01.22
申请号 JP19910166557 申请日期 1991.07.08
申请人 NEC YAMAGATA LTD 发明人 IZAWA KOTARO
分类号 H01L21/265 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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