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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0513592(A) 申请公布日期 1993.01.22
申请号 JP19910164869 申请日期 1991.07.05
申请人 NEC CORP 发明人 YOSHIDA NAOYUKI;TAJIMA JUNJI
分类号 H01L23/522;H01L21/28;H01L21/768;H01L29/43 主分类号 H01L23/522
代理机构 代理人
主权项
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