发明名称 MANUFACTURE OF HYBRID INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0513605(A) 申请公布日期 1993.01.22
申请号 JP19910192594 申请日期 1991.07.05
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 HIDAKA SHINJI;MIYOSHI MOTOHIDE
分类号 H01L21/66;H01L23/02;H05K1/02;H05K1/11;H05K3/28 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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