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发明名称 IC UNLOADING METHOD
摘要
申请公布号 JPH0513532(A) 申请公布日期 1993.01.22
申请号 JP19910164748 申请日期 1991.07.05
申请人 FUJITSU LTD 发明人 ICHIKAWA YOSHIHISA;KIKUCHI TATSUO;TONAI SEIJI
分类号 B07C5/36;B65G1/08;H01L21/02;H01L21/66;H05K13/02 主分类号 B07C5/36
代理机构 代理人
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