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经营范围
发明名称
VERTICAL HEAT TREATMENT DEVICE
摘要
申请公布号
JPH0513353(A)
申请公布日期
1993.01.22
申请号
JP19910166664
申请日期
1991.07.08
申请人
TOKYO ELECTRON LTD
发明人
NIINO REIJI;SHIRATANI ISAO;MIYAGAWA MASAAKI
分类号
H01L21/22
主分类号
H01L21/22
代理机构
代理人
主权项
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