发明名称 RESIST APPLICATION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0513321(A) 申请公布日期 1993.01.22
申请号 JP19910164860 申请日期 1991.07.05
申请人 NEC KYUSHU LTD 发明人 YOSHIOKA YUKI
分类号 B05C11/00;B05C11/08;G03F7/16;H01L21/027 主分类号 B05C11/00
代理机构 代理人
主权项
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