| 发明名称 |
AMORPHOUS SEMICONDUCTOR FORMATION METHOD AND THIN FILM TRANSISTOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0513440(A) |
申请公布日期 |
1993.01.22 |
| 申请号 |
JP19910164216 |
申请日期 |
1991.07.04 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
SAITO KATSUAKI;FUKUDA TAKUYA;OGAMI MICHIO;TANAKA MASAHIRO;WATANABE KUNIHIKO |
| 分类号 |
C23C16/50;C23C16/511;H01L21/205;H01L21/336;H01L29/78;H01L29/786 |
主分类号 |
C23C16/50 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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