发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0513456(A) 申请公布日期 1993.01.22
申请号 JP19910185426 申请日期 1991.06.28
申请人 MURATA MFG CO LTD 发明人 SETO HIROYUKI
分类号 H01L21/265;H01L21/338;H01L29/812 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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