| 发明名称 |
MANUFACTURE OF FIELD-EFFECT TRANSISTOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0513452(A) |
申请公布日期 |
1993.01.22 |
| 申请号 |
JP19910158907 |
申请日期 |
1991.06.28 |
| 申请人 |
SUMITOMO ELECTRIC IND LTD |
发明人 |
HASEGAWA YOSHIMICHI |
| 分类号 |
H01L21/28;H01L21/306;H01L21/338;H01L29/812 |
主分类号 |
H01L21/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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