发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH0513431(A) 申请公布日期 1993.01.22
申请号 JP19910162759 申请日期 1991.07.03
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 NAKABAYASHI TAKASHI;SHINOHARA SHOHEI
分类号 H01L29/78;H01L21/336 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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