发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR ELEMENT
摘要
申请公布号 JPH0513414(A) 申请公布日期 1993.01.22
申请号 JP19910165555 申请日期 1991.07.05
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 HARADA YUSUKE
分类号 H01L21/28;H01L21/285;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3205;H01L23/52 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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