发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0513432(A) 申请公布日期 1993.01.22
申请号 JP19910164259 申请日期 1991.07.04
申请人 KAWASAKI STEEL CORP 发明人 OOKA YOSUKE
分类号 H01L21/3205;H01L21/336;H01L21/768;H01L29/41;H01L29/78 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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