| 发明名称 |
CLEANING METHOD FOR SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0513398(A) |
申请公布日期 |
1993.01.22 |
| 申请号 |
JP19910165387 |
申请日期 |
1991.07.05 |
| 申请人 |
HITACHI ZOSEN CORP |
发明人 |
SAWADA HIDETAKA;HIRANO TAKASHI;MOMOSE SHOICHI;INOUE SHIRO;KOBA KAZUNORI;SUEMATSU HIDEO |
| 分类号 |
B08B3/08;G02F1/13;H01L21/304;H05K3/26 |
主分类号 |
B08B3/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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