| 发明名称 |
FILM SOLVENT APPLICATION DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0513322(A) |
申请公布日期 |
1993.01.22 |
| 申请号 |
JP19910167975 |
申请日期 |
1991.07.09 |
| 申请人 |
RYODEN SEMICONDUCTOR SYST ENG KK;MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
ATOBE TSUNEHISA |
| 分类号 |
B05C11/08;G03F7/16;H01L21/027;H01L21/31 |
主分类号 |
B05C11/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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