发明名称 LAMP ANNEALING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0513355(A) 申请公布日期 1993.01.22
申请号 JP19910165860 申请日期 1991.07.05
申请人 HITACHI LTD 发明人 WATANABE TOMOJI;USUI TAKETO;HIRASAWA SHIGEKI;HONMA MITSURU
分类号 H01L21/26 主分类号 H01L21/26
代理机构 代理人
主权项
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