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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0513667(A) 申请公布日期 1993.01.22
申请号 JP19910164393 申请日期 1991.07.04
申请人 FUJITSU LTD 发明人 SUGIYAMA IWAO;TAKIGAWA HIROSHI
分类号 H01L21/60;H01L21/321;H01L25/16;H01L27/14 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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