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发明名称 BUMP FORMING METHOD
摘要
申请公布号 JPH0513420(A) 申请公布日期 1993.01.22
申请号 JP19910165501 申请日期 1991.07.05
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 MATSUMURA SHINYA;KABESHITA AKIRA;SHIDA SATOSHI
分类号 H01L21/60;H01L21/321 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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