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经营范围
发明名称
PLASMA TREATMENT DEVICE
摘要
申请公布号
JPH0513372(A)
申请公布日期
1993.01.22
申请号
JP19910167845
申请日期
1991.07.09
申请人
FUJITSU LTD
发明人
KISA TOSHIMASA
分类号
C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065
主分类号
C23F4/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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