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经营范围
发明名称
MOLECULAR BEAM EPITAXIAL DEVICE
摘要
申请公布号
JPH0513331(A)
申请公布日期
1993.01.22
申请号
JP19910164222
申请日期
1991.07.04
申请人
HITACHI LTD
发明人
KAWADA HIROKI;TAGAMI TOMONORI;TAKAHASHI NUSHITO
分类号
C23C14/50;C30B25/12;H01L21/203
主分类号
C23C14/50
代理机构
代理人
主权项
地址
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