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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0513487(A) 申请公布日期 1993.01.22
申请号 JP19910160526 申请日期 1991.07.01
申请人 FUJITSU MIYAGI ELECTRON:KK 发明人 TAKAHASHI FUMIHITO;ASANO YUICHI;KOBAYASHI HITOSHI
分类号 H01L21/56 主分类号 H01L21/56
代理机构 代理人
主权项
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