MANIPULATOR FITTED WITH COOLING MECHANISM,申请号JP19910189242-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	MANIPULATOR FITTED WITH COOLING MECHANISM
摘要
申请公布号	JPH0513332(A)	申请公布日期	1993.01.22
申请号	JP19910189242	申请日期	1991.07.03
申请人	NISSIN ELECTRIC CO LTD	发明人	OHASHI SHIGEJI;SUNADA HIDENORI
分类号	C23C14/50;H01L21/203	主分类号	C23C14/50
代理机构		代理人
主权项
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