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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0513385(A) 申请公布日期 1993.01.22
申请号 JP19910024041 申请日期 1991.01.24
申请人 SONY CORP 发明人 SATO JUNICHI
分类号 C23C14/44;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31;H05H1/18 主分类号 C23C14/44
代理机构 代理人
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