发明名称 BPSG REFLOW FILM FOR LSI ELEMENT
摘要
申请公布号 JPH0513406(A) 申请公布日期 1993.01.22
申请号 JP19910185190 申请日期 1991.06.28
申请人 RICOH CO LTD 发明人 SUZUKI EIKO
分类号 C03C3/19;C03C8/08;H01L21/316 主分类号 C03C3/19
代理机构 代理人
主权项
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