发明名称 REFRIGERANT FEEDING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0513823(A) 申请公布日期 1993.01.22
申请号 JP19910159255 申请日期 1991.06.29
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 NAKAYAMA SHIGEO
分类号 H01L39/04 主分类号 H01L39/04
代理机构 代理人
主权项
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