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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES (BETA)-SILICIUMCARBIDPULVERS UND HALBLEITERBAUELEMENT-HERSTELLUNGSEINRICHTUNG
摘要
申请公布号 DE4223667(A1) 申请公布日期 1993.01.21
申请号 DE19924223667 申请日期 1992.07.17
申请人 SUMITOMO METAL INDUSTRIES, LTD., OSAKA, JP;BRIDGESTONE CORPORATION, TOKIO/TOKYO, JP 发明人 KOJIMA, SHOICHI, TOKIO/TOKYO, JP;MINAGAWA, KAZUHIRO, CHIBA, JP;SAITO, TASUKU, TOKOROZAWA, SAITAMA, JP;KURACHI, YASUO, TOKIO/TOKYO, JP;KANO, HARUYUKI, IBARAKI, JP
分类号 C01B31/36;C04B35/565;H01L21/67 主分类号 C01B31/36
代理机构 代理人
主权项
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