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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES POLYIMIDFILMS DURCH CHEMISCHE ABLAGERUNG AUS DER DAMPFPHASE.
摘要
申请公布号 DE3782983(D1) 申请公布日期 1993.01.21
申请号 DE19873782983 申请日期 1987.07.22
申请人 HITACHI, LTD., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 NUMATA, SHUNICHI, HITACHI-SHI IBARAKI 317, JP;IKEDA, TAKAYOSHI, NAKA-GUN IBARAKI 319-11, JP;FUJISAKI, KOJI, HITACHI-SHI IBARAKI 316, JP;MIWA, TAKAO, HITACHI-SHI IBARAKI 319-12, JP;KINJO, NORIYUKI, HITACHI-SHI IBARAKI 316, JP
分类号 B32B27/34;B05D7/24;C08G73/10;C23C14/12;C23C14/24;H01L21/312;(IPC1-7):B05D1/00 主分类号 B32B27/34
代理机构 代理人
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