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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER MONOKRISTALLINEN DUENNEN SCHICHT.
摘要
申请公布号 DE3685732(T2) 申请公布日期 1993.01.21
申请号 DE19863685732T 申请日期 1986.12.19
申请人 AGENCY OF INDUSTRIAL SCIENCE AND TECHNOLOGY, TOKIO/TOKYO, JP 发明人 AWANE, KATUNOBU, IKOMA-SHI NARA-KEN, JP;KOBA, MASAYOSHI, NARA-SHI NARA-KEN, JP;MIYAJIMA, TOSHIAKI, IKOMA-GUN NARA-KEN, JP;MAEKAWA, MASASHI, NARA-SHI NARA-KEN, JP
分类号 C30B29/66;H01L21/20;(IPC1-7):H01L21/268;C30B1/06 主分类号 C30B29/66
代理机构 代理人
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