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发明名称 VERBUND-HALBLEITERVORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG DERSELBEN
摘要
申请公布号 DE4137693(A1) 申请公布日期 1993.01.21
申请号 DE19914137693 申请日期 1991.11.15
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD., SUWON, KR 发明人 MOON, SEUNG HWAN, SEOUL/SOUL, KR
分类号 H01L21/66;H01L31/10;H01L31/12;H01L31/173;H01L33/00;H01S5/00;H01S5/026 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
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