发明名称 | 可变形镜光闸装置 | ||
摘要 | 一种装置,它包括一含有一电极(38a、38b)及电极和一可单独偏移的元件(32)之间的间隙的微型机械开关,上述偏移元件(32)有一连在它下面的垂直光闸(40),当电极被寻址时,可偏移元件(32)的运动引起光闸升高或降低。这样一种装置可起开关作用。它公开了一种使用在波导中的实施例及制造方法。 | ||
申请公布号 | CN1068198A | 申请公布日期 | 1993.01.20 |
申请号 | CN92103085.1 | 申请日期 | 1992.04.23 |
申请人 | 德克萨斯仪器公司 | 发明人 | 米歇尔·A·米尼亚尔;杰佛尼·B·桑普塞尔;玛克·博伊塞尔 |
分类号 | G02F1/01;G02F1/313 | 主分类号 | G02F1/01 |
代理机构 | 上海专利事务所 | 代理人 | 沈昭坤 |
主权项 | 1、一种可偏移装置,其特征在于它包括:a.一基底;b.一在上述基底上形成的电极;c.至少一个在上述电极的旁边、且在上述基底上形成的支持结构;d.一位于上述电极上方、与支持结构相连接的可动金属元件;e.一在上述电极和上述元件之间的空气间隙;以及f.一与上述元件相连接的垂直结构。 | ||
地址 | 美国德克萨斯州 |