发明名称
摘要
申请公布号 JPH054831(B2) 申请公布日期 1993.01.20
申请号 JP19860204462 申请日期 1986.08.28
申请人 SHARP KK 发明人 INADA YORIFUMI;TSUJIMURA MASAHIRO
分类号 H01L21/66;H01S5/00 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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